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產(chǎn)品中心Bronkhorst布瑯軻鍶特F201CM,F111CMBronkhorst EL-FLOW金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Bronkhorst EL-FLOW金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu)，具有高性能、高質(zhì)量的特點(diǎn)，適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場(chǎng)合。質(zhì)量流量計(jì)和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。
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產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | BRONKHORST/荷蘭 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類(lèi) | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,制藥/生物制藥 |
Bronkhorst EL-FLOW金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器
高純度氣體應(yīng)用
Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu)，具有高性能、高質(zhì)量的特點(diǎn)，適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場(chǎng)合。質(zhì)量流量計(jì)和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。
l 最小流量范圍：0.12…6 mln/min
l 最大流量范圍： 1… 50 ln/min
EL-FLOW® 產(chǎn)品具有多氣體/多范圍功能，為客戶（OEM）提供可選的靈活性以及高效率工藝。為方便客戶使用，Bronkhorst提供免費(fèi)且便于操作的配置軟件。
特點(diǎn)
l 高準(zhǔn)確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0.5% Rd + 0.1% FS)
l 可進(jìn)行重復(fù)密封的全金屬外部密封結(jié)構(gòu)（無(wú)密封圈）
l 電拋光過(guò)流部件
l 無(wú)塵組裝
l 多介質(zhì)/多范圍可調(diào)節(jié)功能
l 模擬通訊和數(shù)字I/O, 可與如下任意集成接口連接：
l DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS
l 無(wú)零飄（不需要零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整電路）
l 高精度、重復(fù)性高
Bronkhorst EL-FLOW金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器
EL-FLOW金屬密封 F-111CM
金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)
l 金屬密封結(jié)構(gòu)
l 電拋光接液部件
l 潔凈室組裝
l 高精度，高重復(fù)性
l 多氣體/多量程功能（可選）
金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)
Bronkhorst® F-111CM質(zhì)量流量計(jì)為滿足半導(dǎo)體市場(chǎng)以及其他高純度氣體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。儀表表面光潔度高，采用模塊化結(jié)構(gòu)，金屬密封，長(zhǎng)期密封性好。F-111CM適用于在真空到1500 psig (100 bar)條件下準(zhǔn)確測(cè)量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之間的流量。
EL-FLOW® 金屬密封系列配備數(shù)字PC板，提供高精度、高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。數(shù)字PC板包含測(cè)量和控制所需的通用功能。除了標(biāo)準(zhǔn)RS232輸出外，儀表還提供模擬I/O信號(hào)?？蛇x安裝接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 協(xié)議。EL-FLOW® 金屬密封系列設(shè)計(jì)具有可選的多氣體/多量程功能，為OEM客戶提供優(yōu)化的靈活性和工藝效率。
EL-FLOW 金屬密封 F-201CM
金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器
l 金屬密封結(jié)構(gòu)
l 電拋光接液部件
l 潔凈室組裝
l 高精度，高重復(fù)性
l 多氣體/多量程功能（可選）
l 快速穩(wěn)定時(shí)間 (低至 600 msec)
金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器
Bronkhorst® F-201CM質(zhì)量流量控制器為滿足半導(dǎo)體市場(chǎng)以及其他高純度氣體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。儀表表面光潔度高，采用模塊化結(jié)構(gòu)，金屬密封，長(zhǎng)期密封性好。F-201CM適用于在真空到1000 psig (64 bar) 條件下準(zhǔn)確測(cè)量0.12…6 sccm 到1…50 slm (等量N2)之間的流量。
EL-FLOW® 金屬密封系列配備數(shù)字PC板，提供高精度、高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)。數(shù)字PC板包含測(cè)量和控制所需的通用功能。除了標(biāo)準(zhǔn)RS232輸出外，儀表還提供模擬I/O信號(hào)?？蛇x安裝接口DeviceNet™、PROFIBUS DP、Modbus、EtherCAT®、PROFINET 或 FLOW-BUS 協(xié)議。EL-FLOW® 金屬密封系列設(shè)計(jì)具有可選的多氣體/多量程功能，為OEM客戶提供優(yōu)化的靈活性和工藝效率。
金屬密封氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù)：
金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)、流量控制器尺寸圖：
金屬密封氣體質(zhì)量流量計(jì)、流量控制器選型表： 
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