Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計

萊寶TTR101N真空變送器是結(jié)合了皮拉尼原理與電容薄膜原理的新型復(fù)合真空規(guī)。它測量精度高，而且在10mbar到1500mbar的測量范圍之間，不受被測氣體的影響。

TTR101N 真空計含有兩個獨立的傳感器元件。其中，MEMS 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果，它包含一個帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個表面，芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面，由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進(jìn)行對流，因此傳感器對安裝位置并不敏感，通過擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。另一個壓電傳感器則基于相對于集成式參考真空的硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)測量結(jié)果，可獨立于氣體成分和濃度來測量真實的絕對壓力。

這兩個傳感器元件都極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。

在一些嚴(yán)苛條件下，灰塵和其他顆粒物可能會加大測量誤差，縮短使用壽命，建議選用過濾器。

技術(shù)參數(shù)：

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計

典型應(yīng)用：

l 粗真空到高真空范圍的一般真空測量與控制

l 前級真空壓強(qiáng)測量

l 真空系統(tǒng)控制

l 進(jìn)樣室

l 高真空電力真空規(guī)控制

選配件

灰塵和其他顆粒物可能會加大測量誤差，縮短使用壽命。因此本公司建議嚴(yán)苛條件下應(yīng)選用過濾器。