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品牌INFICON/美國應用領(lǐng)域環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,制藥/生物制藥

INFICON英???/span>膜厚控制儀


INFICON SQC-310 系列擁有優(yōu)良的電子元件、改進的顯示屏和非常實惠的價格,為您提供競爭對手薄膜控制器所不具備的功能。您可以選擇適合您應用的理想型號:順序沉積 (SQC-310) 或共沉積 (SQC-310C)。

 

INFICON英??的ず窨刂苾x

 

功能

l 明亮的彩色液晶顯示屏 - 提供英文或中文顯示

l 標準RS-232USB接口(可選RS-232和以太網(wǎng)接口)

l 通過 "快速設(shè)置 "菜單、6個上下文敏感按鈕和方便的參數(shù)設(shè)置旋鈕,實現(xiàn)簡單的設(shè)置和操作

l Windows®程序,用于開發(fā)、測試和下載過程,并將儀表數(shù)據(jù)記錄到PC上,用于過程分析和質(zhì)量控制

l 精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,分辨率為±0.03 Hz,讀數(shù)為10/

l 可存儲多達100個過程、1,000層、50層薄膜的數(shù)據(jù)

l 使用單個傳感器或多個傳感器監(jiān)測源材料,以提供精確的源分布監(jiān)測


INFICON英???/span>膜厚控制儀

規(guī)格

SQC-310

 

測量

 

QCM 輸入

2 (4 可選)

頻率范圍

可調(diào):

1.0 MHz 最小

6.5 MHz 最高

頻率分率 (1)

± 0.012 Hz

厚度和速率分辨率/測量 (2)

±0.015 Å

頻率穩(wěn)定

± 2 ppm , 0 to 50C

測量間隔

0.10 to 1.0 s (可調(diào))

顯示速率

0.01 Å/sec

控制

 

儲存

100 過程, 1000 模層, 50 模系

控制輸出

2 (4 可選)

信號輸出

± 0 to 10 VDC, 15 bits

數(shù)字輸入/繼電器

8/8 (16/16 可選)

數(shù)字輸入

5 VDC 非隔離

繼電器

SPST 1A, 30V, 2A 最大

接口

標準 RS-232 and USB (RS-232 Ethernet 選項)

遠程控制

選項 (IPN 782-900-017)

顯示

 

類型

1/4 VGA 320 x 240 有源矩陣彩色 LCD

圖型

速率、偏差、功率或全屏數(shù)字

一般

 

電源

100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W

兼容

CE, RoHS

Windows® 軟件

包含

機箱 / 安裝

5 1/4” 半機架






























(1) 0.25 s測量間隔的分辨率

(2)工具/密度 = 100/1, 基礎(chǔ)頻率 = 6 MHz, 0.25 s 測量間隔


SQC-310C

 

測量

 

QCM 輸入

4

頻率范圍

可調(diào):

1.0 MHz 最小

6.5 MHz 最高

頻率分率 (1)

± 0.012 Hz

厚度和速率分辨率/測量 (2)

±0.015 Å

頻率穩(wěn)定

± 2 ppm , 0 to 50C

測量間隔

0.10 to 1.0 s (可調(diào))

顯示速率

0.01 Å/sec

控制

 

儲存

100 過程, 1000 模層, 50 模系

控制輸出

4

信號輸出

± 0 to 10 VDC, 15 bits

數(shù)字輸入/繼電器

16/16

數(shù)字輸入

5 VDC 非隔離

繼電器

SPST 1A, 30V, 2A 最大

接口

標準 RS-232 and USB (RS-232 Ethernet 選項)

遠程控制

選項 (IPN 782-900-017)

顯示

 

類型

1/4 VGA 320 x 240 有源矩陣彩色 LCD

圖型

速率、偏差、功率或全屏數(shù)字

一般

 

電源

100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W

兼容

CE, RoHS

Windows® 軟件

包含

機箱 / 安裝

5 1/4” 半機架






























(1) 0.25 s測量間隔的分辨率

(2)工具/密度 = 100/1, 基礎(chǔ)頻率 = 6 MHz, 0.25 s 測量間隔

INFICON英??的ず窨刂苾x

 

杭州域勢科技有限公司,專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務及解決方案,公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌,結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案,旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進度。

 

 

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