VAT 61.3壓力控制蝶閥

VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實(shí)現(xiàn)出色的壓力控制；憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器（0.1 秒），61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件，改變閥門開度的流導(dǎo)特性。61.3 系列壓力控制蝶閥的集成壓力控制器可計(jì)算所需的閥板位置，以盡快實(shí)現(xiàn)設(shè)定壓力。該系列產(chǎn)品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設(shè)計(jì)。即使粒子載荷高并且存在因設(shè)計(jì)而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持精確正常運(yùn)行。

61.3 系列控制閥已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其穩(wěn)定的可靠性。憑借堅(jiān)固的設(shè)計(jì)、直接安裝選項(xiàng)，以及簡(jiǎn)單且輕松的維護(hù)，61.3 系列控制閥在各個(gè)方面都令人信服。

閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設(shè)計(jì)選項(xiàng)可簡(jiǎn)化在不同真空應(yīng)用中的集成。

61.3 蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成，標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F，可以集成客戶定制法蘭和特殊功能，如集成式絕緣加熱器?？筛鶕?jù)要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體（氟橡膠為標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)）。

61.3壓力控制蝶閥的主要特點(diǎn):

• 穩(wěn)定的壓力控制

• 運(yùn)行非常快

• 板載軟件，用于本地運(yùn)行

• 惡劣工藝條件下可實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行

• 工藝可控性更好

• 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)/性能不受限

• 運(yùn)行成本低

  
  

61.3系列壓力控制蝶閥尺寸圖：

61.3系列壓力控制蝶閥技術(shù)參數(shù)：

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