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VAT 65.3控壓真空擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供穩(wěn)定精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī)，可提供改進(jìn)功能。驅(qū)動(dòng)器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力，可提供全新可控性。

VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實(shí)現(xiàn)出色的壓力控制；憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器（0.1 秒），61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。

VAT全系列真空閥門(mén)的設(shè)計(jì)適用于所有真空度，直至高真空、超高真空和苛刻超高真空條件。VAT真空閥是在潔凈室條件下生產(chǎn)的，并為其各自的應(yīng)用量身定做。除了高純度外，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性，即使在苛刻的運(yùn)行條件下也表現(xiàn)佳。通過(guò)全面的真空隔離閥和控制閥、氣體定量閥、傳輸閥和排氣閥、淹沒(méi)閥以及快速關(guān)閉閥的產(chǎn)品組合，VAT為所有應(yīng)用領(lǐng)域提供了真空的解決方案。

VAT全金屬角閥采用 FLEX VATRING“硬對(duì)硬”密封技 術(shù)。這種動(dòng)態(tài)全金屬密封系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)持續(xù)的密封和穩(wěn) 定的閉合力。并且能夠以相當(dāng)?shù)偷妮S向力實(shí)現(xiàn)高密封力。密封件采用不銹鋼制成，僅能彈性變形。FLEX VATRING 可在側(cè)面輕松更換。其在打開(kāi)和關(guān)閉位置可以烘烤至 300℃，并且在清潔條件下運(yùn)行時(shí)使用壽命能超過(guò) 1000次。